隨著電子信息產業的持續發展,ITO靶材的消耗量逐年增長,隨之產生的廢舊靶材也成為一個不可忽視的物料類別。這些廢舊靶材主要來源于兩個環節:一是生產過程中因達到使用壽命而失效的靶材,其表面鍍膜區域已被消耗,剩余部分無法繼續有效使用;二是靶材制造環節產生的加工余料或不合格品。若將其作為普通固體廢物處理,不僅是對蘊含稀有金屬銦資源的巨大浪費,其不當處置還可能帶來環境風險。
回收后的廢舊靶材進入預處理階段。首先進行嚴格的分類與鑒別,依據其成分、鍍層殘留情況、基底材料(常為金屬或陶瓷)進行分選。隨后通過機械破碎、研磨等物理方法,將大塊靶材分解為粒度較小的顆粒,增大后續化學處理的反應接觸面積。此階段可能涉及物理分選技術,如利用密度或磁性差異初步分離部分雜質。
提取得到的高純度再生銦,其化學性質與物理性能與從原生礦中提煉的銦并無本質區別,完全可以作為原料返回至ITO靶材制造或其他銦化合物生產流程。這構成了一個資源閉環:
* 資源節約:銦在地殼中豐度極低且高度分散,獨立礦床稀少,多作為鋅、鉛等金屬冶煉的副產品回收。再生銦顯著降低了對原生礦產的依賴,延長了銦資源的可利用周期。
* 能耗與環境負荷降低:從廢舊靶材中回收銦的能耗遠低于從原礦開采、選礦到冶煉的全過程。規范的回收處理避免了有害物質不當處置的環境風險,減少了與原生金屬生產相關的大量廢石、尾礦和廢氣排放。
* 產業穩定性貢獻:建立穩定的再生銦供應渠道,有助于平抑因礦產供應波動帶來的市場價格風險,為下游應用產業提供更可持續的材料來源保障。
廢ITO靶材中藏著高價值資源:
在ITO靶材的生產過程中,會產生大量的片狀切割廢料和噴濺粉末廢料。根據鑫聯環保科技股份有限公司的研究,這些廢料中銦含量高達74%,錫約7%,堪稱“高品位再生資源”。
長期以來,很多企業因缺乏成熟的回收技術,只能將廢靶材堆存或外運處理,不僅造成金屬浪費,還帶來了環境污染。面對這種狀況,鑫聯環保在2020年啟動了廢ITO靶材回收銦、錫項目,并于2021年實現了產業化突破。

