壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測(cè)量、真空測(cè)量、監(jiān)測(cè)和控制汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)的性能以及諸如測(cè)量槍炮膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測(cè)量。此外,在油井壓力測(cè)量、隨鉆測(cè)向和測(cè)位地下密封電纜故障點(diǎn)的檢測(cè)以及流量和液位測(cè)量等方面都廣泛應(yīng)用壓阻式傳感器。
1、靈敏度非常高,有時(shí)傳感器的輸出不需放大可直接用于測(cè)量;
2、分辨率高,例如測(cè)量壓力時(shí)可測(cè)出10~20Pa的微壓;
3、測(cè)量元件的有效面積可做得很小,故頻率響應(yīng)高;
4、可測(cè)量低頻加速度和直線(xiàn)加速度。
壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測(cè)壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號(hào)。
傳感器是自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)主要的自動(dòng)化裝置,其中還包括顯示器、數(shù)據(jù)處理裝置。它是用來(lái)感受被測(cè)量并且以一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可輸出信號(hào)的器件或裝置,還可以將被測(cè)參數(shù)轉(zhuǎn)換成一定且方便傳輸?shù)男盘?hào),如電信號(hào)或氣信號(hào)。

