這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內,引出電極引線(概述圖)。壓阻式壓力傳感器又稱為固態壓力傳感器,它不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。
當受到壓力作用時,一對橋臂的電阻變大,而另一對橋臂電阻變小,電橋失去平衡,輸出一個與壓力成正比的電壓。由于硅壓阻式壓力傳感器的靈敏系數比金屬應變的靈敏系數大50~100倍,故硅壓阻式壓力傳感器的滿量程輸出可達幾十毫伏至二百多毫伏,有時不需要放大就可直接測量。
壓組式壓力傳感器由于結構簡單。休積小輸出信號大、靈敏度高動態特性好精度高、頻響高、質量輕等優點,可適于高頻動態測試,在航空治金氣象及醫療等方面獲得大量應用。壓阻傳感器供應就找上海百思得電子有限公司。
交叉靈敏度既與傳感器應變片自身的壓阻系數、彈性模量、溫度系數有關,又與電橋的供電電壓有關,因此應變和溫度同時作用于傳感器時,傳感器的輸出不是應變和溫度單獨作用時產生的輸出量的簡單迭加,還存在著熱力學和力學量的相互作用,這個作用反映為交叉靈敏度,其大小反映了這種相互作用的程度。

