這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線(概述圖)。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過(guò)彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過(guò)硅膜片感受被測(cè)壓力的。
壓阻式傳感器是利用晶體的壓阻效應(yīng)制成的傳感器。當(dāng)它受到壓力作用時(shí),應(yīng)變?cè)碾娮璋l(fā)生變化,從而使輸出電壓發(fā)生變化。一般壓阻式傳感器是在硅膜片上做成四個(gè)等值的電阻的應(yīng)變?cè)瑯?gòu)成惠斯通電橋。
壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測(cè)壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號(hào)。
1、直接用作各種壓力的測(cè)定:氣壓、水壓、液壓(包括水壓),生活中人們各種血壓測(cè)定等;
2、汽車、某些摩托車以及幾乎所有內(nèi)燃機(jī)里都有壓力傳感器的使用;
3、液位計(jì):各種液位測(cè)定的現(xiàn)場(chǎng)表計(jì)大多也是壓力傳感器;
4、大多數(shù)電子稱量稱、汽車衡的稱重信號(hào)來(lái)源也是壓力傳感器。
5、航空、航天中加速度測(cè)量也使用壓力傳感器。

