壓阻式傳感器是利用晶體的壓阻效應制成的傳感器。當它受到壓力作用時,應變元件的電阻發生變化,從而使輸出電壓發生變化。一般壓阻式傳感器是在硅膜片上做成四個等值的電阻的應變元件,構成惠斯通電橋。
壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。
薄膜型壓阻傳感器是利用真空沉積技術將半導體材料沉積在帶有絕緣層的試件上而制成的。
擴散型壓阻傳感器是在半導體材料的基片上利用集成電路工藝制成擴散電阻。將P型雜質擴散到N型硅單晶基底上,形成一層極薄的P型導電層,再通過超聲波和熱壓焊法接上引出線就形成了擴散型半導體應變片。
傳感器是自動檢測系統主要的自動化裝置,其中還包括顯示器、數據處理裝置。它是用來感受被測量并且以一定規律轉換成可輸出信號的器件或裝置,還可以將被測參數轉換成一定且方便傳輸的信號,如電信號或氣信號。

