水磨石無塵車間地面，施工質量會失控。金屬隔珊通風地面，用于垂直單項流無塵車間作為回風隔柵使用，一般采用多孔板。粘貼性無塵車間地面，有聚氯乙烯軟板，聚氯乙烯半硬板等，常用的有板材和卷材形式，具有一定的彈性，耐磨不起塵，易清洗，耐腐蝕，防靜電，但整體性差，接縫和粘貼施工質量失控后，影響使用效果，適用于電子、精密制造的一般無塵車間。
無塵車間空氣凈化系統分為水平層流、垂直層流和紊流。氣流方式的選擇參照常規，潔凈度主要由單位時間換氣次數決定。因此，在確定凈化系統的技術參數之前，必須認真考慮無塵車間的工作性質和生產要求。
在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術可以說是促進凈化的關鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。
在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術可以說是促進凈化的關鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。