為達到潔凈水平，無塵車間的設置需要采取綜合措施，包括工藝布置、建筑平面、建筑結構、空氣凈化措施、維護管理等，其中空氣凈化措施是達到潔凈水平的根本保證。
無塵車間的設計并不像想象的那么簡單，它是一個大工程，需要消耗大量的能源，尤其是空調。因此，在設計和施工中，必須注意節能措施、系統和區域劃分、風量計算、溫度和相對濕度的確定。在該區域，為保證無塵車間的全過程調節，空調箱應根據氣候條件選擇自動控制裝置。另外，空調房設計在無塵車間內。這樣既節約了能源，又使氣流組織更加合理。
人和物體是粉塵的主要來源，應加以控制。比如進入無塵車間，每個人都必須通過人際網絡系統換上干凈的衣服，接受凈化系統功能的基礎教育。
在無塵車間的設計過程中，根據項目的實際情況和客戶的具體要求，做好以上幾點。按設計方案運行的無塵車間應提供必要的給排水裝置、供氣裝置和電源。這些裝置和相關設備的設計必須易于使用，并且不會對空氣凈化系統造成障礙。
在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術可以說是促進凈化的關鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。