1.蒸餾水：就是將水蒸餾、冷凝的水,蒸二次的叫重蒸水,三次的叫三蒸水.有時候為了特殊目的,在蒸前會加入適當試劑,如為了無氨水,會在水中加酸；低耗氧量的水,加入酸等.工業蒸餾水是采用蒸餾水方法取得的純水,一般普通蒸餾取得的水純度不高,經過多級蒸餾水,出水才可達到很純,成本相對比較高.
2.去離子水就是將水通過陽離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強酸性陽離子交換樹脂）,則水中的陽離子被樹脂所吸收,樹脂上的陽離子H+被置換到水中,并和水中的陽離子組成相應的無機酸；含此種無機酸的水再通過陰離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強堿性陰離子）OH-被置換到水中,并和水中的H+結合成水,此即去離子水.去離子水在現代工業中有著非常廣泛的用途,使用去離子水,是我國很多行業提高產品質量的,趕超世界水平的重要手段之一.由于去離子水中的離子數可以被人為的控制,從而,使它的電阻率、溶解度、腐蝕性等物理、化學等指標均得到良好的控制.在工業生產及實驗室的實驗中,如果涉及到使用水的工藝都被使用了去離子水,那么,許多參數會更接近設計或理想數據,產品質量將變得易于控制.
3.高純水,是指化學純度的水,其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域,但其對水質純度要求相當高,所以一般應用普遍的還是電子工業.例如電力系統所用的純水,要求各雜質含量低達到“微克/升”級.在純水的制作中,水質標準所規定的各項指標應該根據電子(微電子)元器件