大部分潔凈室、空氣凈化工程、凈化廠房比如電子凈化車間都有嚴格的恒溫、恒濕的要求，不僅對廠房內的溫、濕度有嚴格的要求，而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。因此，在凈化空調系統的空氣處理上要采取相應的措施。
對于以微生物為控制對象的生物凈化車間其重點要控制微生物的產生和傳播，因為潮濕和水分是微生物滋生和繁殖的條件，因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中，這類凈化工程只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。
SMT車間無塵車間溫濕度標準: 溫 度: 24±2℃ 濕 度: 50±10%電子制造業潔凈車間溫濕度標準:
芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分，由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。需要消除靜電，并使人也感覺舒適。一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關溫濕度規定）。
其他影響因素：
除了空間和環境要求之外，設計或建造者經常忽略影響恒溫恒濕潔凈車間合規性的一些因素，導致溫度和濕度過高或者潔凈度達不到要求。例如，外部氣候因素考慮并不，不考慮設備耗盡量，不考慮設備產生的熱量，導致恒溫恒濕潔凈車間無法達到恒溫標準，設備產生的粉塵量影響恒溫恒濕潔凈車間的潔凈度標準，以及設備產生的水分量不考慮同時有工作人員的數量導致恒溫恒濕潔凈車間的恒濕標準受到人員散發水分的嚴重影響。