世界各國均有自定規格，但普遍依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
萬級凈化車間的潔凈度：潔凈度10000級cleanliness class 10000（P2萬級實驗室即ISO7級）即大于等于0.5μm的塵粒數大于35000粒／m3 (35粒/L)到小于等于350000粒／m3(350粒／L)；大于等于5μm的塵粒數大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3(3粒/L)。
壓差及溫濕度控制：
1）溫度:干盤管系統控制。
2）濕度:空調箱調節通過感測的信號,控制三通閥開度來調節空調箱盤管進水量。
3）正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量。
凈化車間恒溫恒濕運行原理：
制冷原理，當凈化車間溫度高于所設定溫度兩度以上（包括兩度）之時，主機控制器會給與車間外機一個信號并且該信號可以使得車間外秒變冷凝器，同時車間內變為蒸發器給車間內降溫，通過風機送至空調房間，達到制冷目的。
SMT車間無塵車間溫濕度標準: 溫 度: 24±2℃ 濕 度: 50±10%電子制造業潔凈車間溫濕度標準:
芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分，由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。需要消除靜電，并使人也感覺舒適。一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關溫濕度規定）。